ASTM F 2139-2001 二次离子质谱分析法测量硅衬底中氮浓度的标准试验方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-20 18:26:40  浏览:9368   来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardTestMethodforMeasuringNitrogenConcentrationinSiliconSubstratesbySecondaryIonMassSpectrometry
【原文标准名称】:二次离子质谱分析法测量硅衬底中氮浓度的标准试验方法
【标准号】:ASTMF2139-2001
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:2001
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:G04
【国际标准分类号】:71_040_50
【页数】:6P;A4
【正文语种】:英语